RUQFL100系列是目前国内性能的气浮直线台，可作为单轴使用或根据应用与其它轴组装成系统，广泛应用于精密加工，测试测量，扫描、半导体及光子学等行业。
非接触式结构
采用非接触式气浮导轨、直线电机驱动和光栅尺反馈装置组成整个系统，确保免维护运行。因为运动元件间没有机械接触，随着时间的推移，不会出现磨损或性能下降，使用寿命几乎是无限的，气浮导轨不需要润滑，只需要清洁及干燥的气体，是用户应用的理想选择。
高精度指标
气浮导轨基于气体动静压效应，实现无摩擦和无振动的平滑移动，与摩擦式导轨相比，气浮直线台的直线度、平面度，Pitch/Roll/Yaw指标得到了很大的提高，同时由于非接触式，伺服反馈的跟随误差有了质的飞跃，定位精度和重复精度得到了显著提高。
定制化
可定制大理石或碳化硅材质的气浮导轨，提升精度性能。行程可接受定制。
| 产品型号 | 单位 | RUQFL100-25 | RUQFL100-75 | RUQFL100-100 | RUQFL100-125 | RUQFL100-150 | |
| 行程 | mm | 25 | 75 | 100 | 125 | 150 | |
| 定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.05 | ±0.1 | |||
| 标准值 | ±0.1 | ±0.15 | |||||
| 双重复定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.025 | ±0.05 | |||
| 标准值 | ±0.05 | ±0.075 | |||||
| 直线度 | Plus值 | ｕm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.15 | ||
| 标准值 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.5 | ||||
| 平面度 | ｕm | ±0.15 | ±0.5 | ||||
| Ritch/roll/yaw | Plus值 | ARC SEC | ±0.25 | ±0.5 | ±1 | ||
| 标准值 | ±0.5 | ±1 | ±1.5 | ||||
| 电子分辨率 | Nm | 0.3或5（选配） | |||||
| 速度 | m/s | 100 | |||||
| 加速度 | m/s | 1，（5定制） | |||||
| 负载 | Kg | 15 | |||||
| 供气压力 | Mpa | ±0.5±0.05 | |||||
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