并联六自由度平台能够提供全部6个自由度，即3个线性轴和3个旋转轴，组合在一起实现并联运动。并联六自由度平台的优势是允许用户自定义支点，可实现被测物的直接环绕，同时可以根据需要自定义另外的旋转点。
1、高速、高精度的并联六自由度平台能够提供全部六个自由度
2、并联运动设计，具有紧凑、刚性高的特点。
3、集成了自动扫描程序。
4、适用于各种姿态调整应用
| | RU002TS-65 | RU002TS-90 | ||||||
| X/Y | Z | θxy | θz | X/Y | Z | θxy | θz | |
| 运动台面(mm) | Φ65 | Φ90 | ||||||
| 行程(mm)/ (deg) | ±7 | ±6 | ±10 | ±15 | ±15 | ±14 | ±12 | ±30 |
| 重复定位精度(μm)/ (deg) | ±1 | ±1 | ±0.01 | ±0.01 | ±1 | ±1 | ±0.01 | ±0.01 |
| 负载(垂直方向/水平方向) (kg) | 5 | 5 | ||||||
| 电机类型 | 步进电机/伺服电机/直流电机 | |||||||
| 接口类型 | Ethernet，USB，串口（RS-232） | |||||||
| 输出功率 | 110-240 VAC/ 50-60Hz | |||||||
| 可选项 | 用户可以定制平台面;更大行程；真空兼容；无磁应用；尺寸可扩展 | |||||||
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