MicroFlow的质量流量计系列是检测部采用了本公司独立开发的热式流速传感器「μF传感器（Micro Flow Sensor）」的质量流量计。
使用微型机器技术、把超微细的流速传感器与**的流路设计技术进行融合，用低价格实现了以前没有的高精度、宽可调比。

适用于生产工序、实验装置等使用的燃料煤气・各种工业煤气・工厂空气的流量管理及各车间的使用量管理等。

质量流量检测

与空气、煤气的使用温度、压力无关，可测量换算成标准状态下的流量。
（* 标准状态下的流量是指在1个大气压、0°C（或20°C）时的体积流量。）

宽广的测量范围

相对于*大测量流量的低流量区域，一般的气体流量计都难于检测，通过搭载μF传感器，可实现宽广范围的测量、控制。实现了质量流量计CMS的可调比100：1、大流量质量流量计CML的可调比160：1（测量范围为1,280：1）的高可调比！
*适合于空气及燃气的使用量的管理、及节能的漏气管理。

快速响应

传感器直接与气体接触进行检测，实现了快速响应。

低圧损构造

μF传感器设置在流路的壁面上，所以阻碍流体流动的构造体少，具有低压力损失的特点。*适合于低圧气体流量的检测、控制。

高精度

质量流量计采用RD（读数）精度规定，实现了宽广流量区域下的高精度检测。

各种功能

通过控制机器积累的微电脑的技术，搭载了以前的质量流量计没有的各种功能。
瞬时／累积流量显示、煤气种类切换功能、上下限报警输出、模拟输出、累积脉冲输出、通信功能等　（* 因产品而异）

种类丰富的产品

根据使用用途，备有从0～500mL/min到0～1600m³/h的宽广流量区域的产品。

气体质量流量计 CMS系列

外观	主要用途								口径 (B)		流量量程
	工业气体的种类管理、试验研究								1/4 1/2		0.5 L/min ～ 2000 L/min
Gas Types	空气	氮气	氧气	氩气	二氧化碳	城市煤气	沼气	丙烷	丁烷	氢气	氦气	笑气
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空气管理用仪表 MCF系列

外观	主要用途								口径 (B)		流量量程
	压缩空气、氮气的节能管理								1/4 1/2 1 11/2 2		200 L/min ～ 12000 L/min
Gas Types	空气	氮气	氧气	氩气	二氧化碳	城市煤气	沼气	丙烷	丁烷	氢气	氦气	笑气
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气体质量监测计 CMG系列

外观	主要用途								口径 (B)		流量量程
	烧嘴空燃比、单位能耗管理								1/2 1 11/2 2		4 m³/h ～ 150 m³/h
Gas Types	空气	氮气	氧气	氩气	二氧化碳	城市煤气	沼气	丙烷	丁烷	氢气	氦气	笑气
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大流量质量流量计
CML系列

外观	主要用途								口径 (B)		流量量程
	城市煤气、工业气体的单位能耗管理、交易								2 3 4 6		160 m³/h ～ 1600 m³/h
Gas Types	空气	氮气	氧气	氩气	二氧化碳	城市煤气	沼气	丙烷	丁烷	氢气	氦气	笑气
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空气质量流量传感器 MCS系列

外观	主要用途								口径 (B)		流量量程
	吸附检查								1/8		-0.5 ～ +0.5 L/min 0 ～ 0.5 L/min -3 ～ +3 L/min 0 ～ 3 L/min 0 ～ 5 L/min 0 ～ 10 L/min
Gas Types	空气	氮气	氧气	氩气	二氧化碳	城市煤气	沼气	丙烷	丁烷	氢气	氦气	笑气
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（请注意）
登载的产品规格书・使用说明书中记述的产品与客户使用的产品的版本有可能不同，敬请注意。

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使用说明书／自控资料

* 2012年3月之前的内容里，含有一部分旧名称，敬请谅解。