用途:白光干涉仪是一种新型的表面形貌测量设备，主要用于获得材料表面的粗糙度、波纹度、翘曲度、自相关函数、承载曲线、轮廓线提取等三维特征参数。以及对材料表面形貌的三维测量，包括:水平尺寸、高度、面积、体积、缺陷深度、曲率半径、倾斜角、栅线分析等。
型号:ContourX-100、ContourX-200、
ContourX-500、Contour GT等
基本参数:
●垂直测量范围:0.1 nm 至 10 mm
●垂直分辨率:<0.1 nm
●水平分辨率:0.5 um
●XY样品台尺寸:150 mm (6in.)
●样品台移动范围:150 mm (XY轴)/100 mm(Z轴)
●物镜:2.5X、5X、10X、20X、50x、115X
技术优势:
●设计LED双光源设计(白光、绿光)
●PSI，VSI，USI测试模式，满足绝大部分样品测试需求
●的图像拼接功能
●多种缝合模式
●一格的镜头调整水平设计
●TTM镜头:直接透过透明介质测量介质下面的产品形貌
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