射频真空等离子清洗机产品介绍：
1、独立数显射频电源
2、强力去除光刻胶有机污染物
3、腔体内部接近常温
4、科研改性
5、媒粉灰化处理
技术参数：
1、独立数显射频电源
2、强力去除光刻胶有机污染物
3、腔体内部接近常温
4、科研改性
5、媒粉灰化处理
技术参数：
| 型号 | PT-2ST | PT-5ST | PT-10ST | PT-15ST |
| 腔体材质 | 316不锈部表面处理 | |||
| 腔体尺寸 | Φ100x270L | Φ150x270Lmm | 220x260x200mm L*W*H | 320x260x200mm |
| 腔体容量 | 2L | 5L | 10L | 15L |
| 外形尺寸 | 560x540x550mm L*W*H | 560x540x550mm L*W*H | 650x550x580mm L*W*H | 650x550x650mm L*W*H |
| 电源频率 | 13.56MHZ | |||
| 电源功率 | 0-200W(手动匹配) | 0-300W(自动匹配) | 0-500W(自动匹配) | |
| 流量计 | 高精密2路浮子流量计 | |||
| 真空计 | 压力表(量化值显示) | |||
| 控制过程 | 全自动控制与手动(PLC人机界面) | |||
| 清洗时间 | 0-99999S可调 | |||
| 真空度 | 1-30pa | |||
| 腔体温度 | <30℃ | |||
| 供电电压 | 220V | |||
| 真空泵 | 2XZ-2(抽速2L/S) | 2XZ-4(抽速4L/S) | ||
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