5KW大面积UV平行光曝光源
平行出光改采平行反射铝镜，曝光面积可到60cmx60cm， 光源强度以5kW灯泡，60cm方出光之NUV光束的I-line输出强度约在15mW/cm2，
均匀性在正负5~8%， 光源平行半角依出光口径不同约在1.5~2.5度。
适合大面积之基板曝光制程。
德扬光电有限公司
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平行出光改采平行反射铝镜，曝光面积可到60cmx60cm， 光源强度以5kW灯泡，60cm方出光之NUV光束的I-line输出强度约在15mW/cm2，
均匀性在正负5~8%， 光源平行半角依出光口径不同约在1.5~2.5度。
适合大面积之基板曝光制程。
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