工作温度：1500℃，

常用工作温度：1350℃
炉内气氛：真空、氩气、氮气等
坩埚内尺寸：Ø210×260mm，坩埚壁厚：15mm，坩埚材料：高纯石墨
有效加热空间：Ø500×350mm
真空系统：
（a）极限真空度：1350℃下，8×10-3Pa
（b）压升率：≤0.67Pa•min-1
（c）真空泵机组配置：JK-200B油扩散泵＋2XZ-15机械泵
加热元件：U型硅钼棒
升温速率：30℃/min
推荐升温速率：20℃/min
温度控制系统：工艺可编程自动控制，采用日本岛电SRS13型可编程PID温度控制表移相调压，配低电压大电流变压器。
炉体表面温度：≤50℃。

测温方式：采用WRP-130可热电偶，装配位置为炉子外侧部，测温点为石墨坩埚的内部。
控温精度：±1℃
炉体外形尺寸（长×宽×高）：1.1×1.1×2.4m
总功率：25kW，电源接法：三相五线
氩气系统、氢气系统、氩气冷却系统。