TESCOM™ 12 系列无弹簧无螺纹调压器

        12 系列是一种微型超高纯度工业气体 （IGS）/VCR® 减压型调压器。 12 系列提供 5 Ra 或 10 Ra 微英寸的光洁度，采用束缚阀膜以及内部无弹簧和无螺纹的设计。 进口压力为 150 psig / 10.3 bar，出口压力为 250 mm Hg-15、30、60、100 psig / 250 mm Hg-1.0、2.1、4.1、6.9 bar，流速可达 120 SLPM。 非常适合用于 OEM 工具、气箱和低压气瓶柜。

规格

特点

• 适用于高级 OEM 气体系统的理想产品

• 高灵敏度压力控制增强质量流量控制器 （MFC） 性能

• 适用范围广，性能

• 流量：2 SCFM 至 120 SLPM

• 在微型元件中提供的压降和重复性

• 阀膜与阀体之间采用金属对金属密封，提供的密封性

• 内部表面光洁度为 10 Ra 或 5 Ra 微英寸

• 符合 SEMI F19 和 SEMI 模块化接口规格

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