产品简介
产品详细介绍详细参数内容规格A.一般规格曝光系统光源：Hg-Xe短弧灯
详情介绍
| 内容 | 规格 |
| A.一般规格 |
| 曝光系统 | 光源：Hg-Xe短弧灯，输出功率5KW，双灯 |
| 平行半角（CHA）：2° 倾斜角（DA）：2° |
| 均匀度：≥85%（min/max） 强度：20mw/cm²（玻璃上） |
| 有效曝光面积：546*622mm |
| Panel规格 | 尺寸：254*304.8mm至558.8*635mm(10''*12"至22"*25") |
| 厚度：0.05mm(不含铜)至2.0mm |
| 玻璃尺寸 | 上：L800*W718*8t 下：L709*W621*8t |
| PCB靠操作面中间对位 |
| 曝光作业 | 双面曝光/内层板用底片CCD自动对位系统，每片确认。对准精度±10um |
| 底片尺寸 | 24"*27" Cycle Time:机械动作12秒+吸真空延迟+曝光时间 |
| 密合模式 | 真空密合，真空度-300~-500mmHg(附表显示) |
| 操作方式 | 操作系统：PC系统+PLC+人机界面 |
| 机台尺寸 | 外部尺寸：L 2900mm*W 2430mm*H 2190mm |
| 输送面高度：1120mm+30mm |
| 公用系统 | 电力：AC380V 3φ 50Hz 60A 13KVA |
| 气压源：>6Kg/cm2 |
| B.系统架构 |
| Panel传送系统 | 进出料传动：滚轮带动 |
| 薄板专用机构：进出料Roller间加入支撑板 |
| 进料定位：二段式靠边定位，前缘利用滚轮慢速传动定位 |
| 曝光室进出移载：以伺服马达带动移载机 |
| 移载机取置：气缸带动取置架上下，真空吸盘移载机装置气缸 |
| 带动取置架上下，真空吸盘组依板宽手动调整 |
| 曝光台框 | 玻璃对玻璃方式采用高UV透光率玻璃 |
| 上台框由伺服马达带动开关，上下框间由四支定位销定位 |
| 底片吸附在台面真空槽，PCB以下台框真空吸附 |
| 静电消除 | 于进料段装置上下静电消除棒 |
| 冷却 | 灯室冷却：气冷（内循环） |
| 曝光室冷却：气冷，抽取室内空气经HEPA吹入曝光室 |
| 洁净控制 | 客户洁净室等级需求：Class 10000 |
| 机台使用99.97%~99.99%HEPA Filter |
| UV光源监控 |
| 遮光器：水平移动，装置在灯室外，由气缸带动 |
| 曝光计算：内建UV能量积算器，可依能量或时间曝光 |
| 对位方式 | 4靶标CCD影像对位 |
| 底片固定 | 台面玻璃 沟槽吸真空 |
| 调整机构 | 微步进马达驱动上台框微调机构 |
| 控制方式 | 自动对位及触控式荧幕PC+PLC |
| 视觉光源 | LED式CCD背光组 |
| 底片对位精度 | ±10μm内(不含涨缩) |
| 备注 | 外观采SUS材质 |
- 上一篇： CCD全自动曝光机
- 下一篇： 半自动CCD检查5K平行曝光机
所有评论仅代表网友意见，与本站立场无关。