激光清洗技术是指利用高能激光束照射工件表面，使表面的污物、锈斑或涂层发生瞬间蒸发或剥离，高速有效地清除清洁对象表面附着物或表面涂层，从而达到洁净的工艺过程。它是基于激光与物质相互作用效应的一项新技术，与传统的机械清洗法、化学清洗法和超声波清洗法(湿清洗工艺)不同、它不需要任何破坏臭氧层的CFC类有机溶剂，无污染，无噪声，对人体和环境无害，是一种“绿色"清洗技术。
激光清洗与机械磨擦清洗、化学腐蚀清洗、液体固体强力冲击清洗、高频超声清洗等传统清洗方法相比，有明显的优点。它高效、快捷、成本低，对基片产生的热负荷和机械负荷小，清洗为非损伤；废物可回收，无环境污染；安全可靠，不损害操作人员健康；可以清除各种不同厚度、不同成份的涂层；清洁过程易于实现自动化控制，实现远距离遥控清洗等。
| 项目 | 参数 |
| 激光平均功率 | 100-1000 W |
| 激光器类型 | 光纤激光器 |
| 功率调节范围（%） | 10-100(渐变可调) |
| 聚焦光斑直径（mm） | 0.08/0.06 |
| 激光波长（nm） | 1064 |
| 重复频率（KHz） | 10-50（渐变可调） |
| 单脉冲能量（mJ） | 10.00 |
| 峰值功率值（KW） | 100 |
| 光斑直径（mm） | 6-7 |
| 脉冲强度（Watt/m2） | 0.10 |
| 清洗效率（m3/h） | 5 |
| 焦距（mm） | 210/160可更换 |
| 冷却方式 | 风冷/水冷 |
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