有机废气通过引风机进入蓄热室 1 吸热，升温后进入焚烧室中进一步加热，使有机废气持续升温直至有机成分分解成CO2和H2O。由于废气在升温过程中利用了蓄热体回收的热量，所以燃料消耗较少。废气经处理后离开燃烧室，进入蓄热室 2 释放热量后排放，而蓄热室 2 的蓄热体吸热后用于下个循环，加热新输入的低温废气。
与此同时，引入部分净化后的气体对蓄热室 3 进行吹扫以备进行下一轮热交换。该过程全部完成后切换进气和出气阀门，气体由蓄热室 2 进入，蓄热室 3 排出，蓄热室 1 进行吹扫；再接下来的循环则切换为由蓄热室 3 进入，蓄热室 1 排出，蓄热室 2 进行吹扫，如此交替切换持续运行。此外，为了提高热能利用率还可在RTO焚烧炉后设置换热器加强余热利用。
与此同时，引入部分净化后的气体对蓄热室 3 进行吹扫以备进行下一轮热交换。该过程全部完成后切换进气和出气阀门，气体由蓄热室 2 进入，蓄热室 3 排出，蓄热室 1 进行吹扫；再接下来的循环则切换为由蓄热室 3 进入，蓄热室 1 排出，蓄热室 2 进行吹扫，如此交替切换持续运行。此外，为了提高热能利用率还可在RTO焚烧炉后设置换热器加强余热利用。
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