这是光掩膜上面的图案被印到半导体用镜片或玻璃基板上的Optical Lithography设备可提供应用范围较广及优秀的半导体用Tool.
可应用与光电子、平板显示屏器、RFMicroware MEMS(Bio-MEMS and Optical-MEMS)、LED等的精密排序及Patteming.
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