技术参数：

1.电源电压：100V /60Hz 或110V /60Hz 或 220V/ 50Hz（中国大陆）  

2.控制显示： LED数字控制器，触摸调节转速与时间.用户可通过控制器进行参数修改设置。

3.  旋转涂敷：0～8000rmp可调     旋涂时间：1～9999s任意时间可设置 

4.  旋转加速度：0～12000rpm/sec   加速时间0.1s～0.5s（由低速到高速）

5.  转速稳定度：±1rmp    胶的均匀性：±3% 

6.  适合：￠2-￠200mm（8"及8"以下）硅片及其它化合物等材料匀胶薄膜.（可按要求扩展）                  

7.  基片厚度：  ≤5mm

8．烘胶板工作: 200mm，适合8英寸及以下尺寸的基片烘烤.

9. 温控范围：室温--300 ℃（可调） 

10. 控温精度:  ±1℃

11.  功率：700W