甲岸科技外延片等离子刻蚀机
甲岸科技等离子刻蚀机对对外延片、晶圆、塑料、金属材料等，进行介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀，实现各项异性刻蚀，保证细小图形转移后的保真性。满足用户对产品表面处理需求。
产品应用
1、适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、刻蚀、清洗、镀膜。
产品特点
- 小巧灵活、操作简单、易维护。
- 引进德国核心等离子技术，质量有保障。
- 进口针阀精密流量控制计，精度高。
- 材质耐腐蚀，环保不产生金属污染。
- 多路工艺反应气体通道，保证产品清洗效果。
- 可以根据客户需求定制
型 号 | AP-E30 | ||
等离子源系统 | 频 率 | 13.56MHz 射频 | |
功 率 | 0~500W 可调 | ||
真空系统 | 真空腔体 | 材质 | 石英、航空铝（选配） |
腔体内部尺寸(MM) | 400*200*400 | ||
腔体容积 | 30L | ||
极板 | 1层 | ||
密封性 | 级焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 干泵 | |
真空管路 | 不锈钢管、不锈钢波纹管 | ||
真空计 | 薄膜硅 | ||
气体流量计 | ＜±1% FS | ||
气路控制 | 2路处理气体气路，气体流量可调 | ||
极限真空 | 3Pa | ||
适用气体 | 流量范围 | 0-500SCCM（可调） | |
工艺气体 | Ar、N₂O₂、H₂等等（可选） | ||
控制系统 | 1、PLC 自动控制； | ||
2、7寸触摸屏,图形用户界面； | |||
3、配方程序为 0~99； | |||
4、多级权限操作； | |||
5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息； | |||
6、存储工艺数据及错误信息； | |||
7、报警信息提示及追溯； | |||
8、图形化界面检测处理参数； | |||
9、自动、手动操作可切换； | |||
10、维护提示紧急停止按钮； | |||
11、门感应器和真空互锁； | |||
12、机器运行信号指示； | |||
13、机器运行结束提示； | |||
外观参数 | 外形尺寸(MM) | 640*1700*840 (宽高深） | |
重 量 | 280KG | ||
设施配置 | 电 力 | 五线，三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。 | |
压缩空气 | 干燥压缩空气CDA。 | ||
其 它 | 提供操作手册、维护手册、安装手册，易损件备件清单。 | ||
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