1

光源

灯管类型

LED

2

灯管厂家(品牌)

日本

3

灯管波长

365nm 365+405nm

4　

灯管光强

新灯管光强强度5-50MW/CM2

5　

均匀度要求（9点测量）

                                                        均匀度≥95%

6　

平行半角≤2度

利用光斑计算三角形的直角边得到夹角

7

灯管保证使用寿命（H）

20000H

8

对位

CCD

4个(红外黄光)

9

CCD分辨率(像素)

200万

10

对位方式

自动抓靶对位

11

对位形式

A.上底片与下底片之间自动对位。
  B.上底片与制程板之间自动对位(孔或PAD)

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对位精度

一次熔丝上下菲林对位精度小于15um
  二次菲林与产品对位精度小于15um

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解析能力

最小解析线宽能力

25um

14

性能要求

制作板子厚度

0.1--2mm

15

有效曝光面积

6*6英寸（实际曝光面积需要大于6*6英寸）

16

产能要求

3-4片/min，从上板到下板

17

操作方式

触控式操作界面

18

曝光方式

双面曝光

19

底片安装方式

上下底片真空吸附，自动安装。

20

作业产品

干膜

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机台尺寸

高*长*宽：1800*1200*1200

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真空值、真空均匀性能力

大于-80kpa

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台面平整性

≤0.1mm

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底片架设

半自动

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作业方式

底片安装（作业员）→放入基板后（作业员）→上下底片自动对位（上下底片与产品自动对位）→对位判定OK后→开始抽真空→真空达到要求后进行自动曝光→曝光完成后自动出料（曝光结束）

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附加功能

数据存储、

可增加扫码功能,作业,对位数据存储