产品介绍：

1）控制系统由PLC触摸屏构成，故障率低，可靠性强，操作简单，易于维护。

2）传片方式通过导轨丝杆传动。

3）主轴使用伺服电机，RS485通讯精确控制转速。

4）采用蠕动泵滴源，保证了定量滴乳胶源，可节省扩散源用量。

5）设置灵活，多功能。通过一键设置，可将自动涂源转换为手动涂源。

7）热板控温方式为温控表，自带超温保护系统，热板均匀性好。热板采用顶针升降，方便晶圆烘烤。

                    转速                       5000RPM

                   转速精准度                    ≤1-4%RPM

     涂源       滴胶手臂控制                  步进马达       

                 滴胶头位置精准                ≤0.2mm

该设备为全自动上下料涂源设备，主要应用于3-6寸晶圆涂源、烘干，采用标准片盒收放片，自动运行。该设备为双轨道形式，上料、涂源、烘干、取料。