湖南艾普德工业技术有限公司
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产品详情:主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、美国TYAN、美国THERMCO、荷兰ASM、英国BTU、日本TEL等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用的加工工艺，选用进口材料，制作而成。可用于2-8英寸硅片的扩散工艺。产品说明：★优质加热丝：KANTHAL‘APMA-1AFD及HRE…★绝热材料：PMFT2T3…晶体纤维等★绝缘子：高纯刚玉★端口过渡环：氧化铝氧化锆等真空成型。★控温段：3段、5段、9段控温用途：★半导体扩散炉烧结炉等★满足4"-8"圆晶扩散炉"★完整的产品系列★进口替代★的材料及制造技术，指标
产品详情:
主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与
美国TEMPRESS、美国TYAN、美国THERMCO、荷兰ASM、英国BTU、日本TEL等国外多种型号
扩散炉配套（替代进口），选用进口材料，制作而成。可用于2-8英寸硅
片的扩散工艺。
产品说明：
★优质加热丝：KANTHAL‘APM A-1 AF D及HRE…
★绝热材料：PMF T2 T3…晶体纤维等
★绝缘子： 高纯刚玉
★端口过渡环：氧化铝氧化锆等真空成型。
★控温段：3段、5段、9段控温
用途：
★半导体扩散炉烧结炉等
★满足4"-8"圆晶扩散炉"
★完整的产品系列
★进口替代
★的材料及制造技术，指标优异
★使用温度：室温-1400℃±0.5℃
★高温型、普通型、快速升降温型
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