高纯三氯氢硅（TCS）
产品描述：
三氯氢硅包装采用316L不锈钢制作，容积有45L,250L,900L三种规格，阀门为1/2‘’、1/4‘’VCR接口阀门两种规格，容器可分别充装45KG,250KG,1000KG产品；还可根据用户特殊要求提供不同包装和接口，包括ISO-TANK.
技术数据表：
| 气体名称 | 三氯氢硅（SiHCl3） |
| 成分或杂质名称 | 产品指标 |
| 纯度 | ≥99.99% |
| 电阻率 | ≥1000 ohm.cm |
| 其他氯硅烷 | ≤100 ppm/w |
| 碳（C） | ≤5 ppb/w |
| 施主杂质（砷As，磷P） | ≤0.07 ppb/w |
| 硼（B） | ≤0.01 ppb/w |
| 铁 (Fe) | ≤1 ppb/w |
| 镍（Ni） | ≤0.1 ppb/w |
| 铬（Cr） | ≤0.1 ppb/w |
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