高纯四氯化硅 (TET)
四氯化硅不锈钢瓶采用316L不锈钢制作的高洁净容器，容积有45L、250L、900L三种规格，阀门为1/2"、1/4"VCR接口阀门，三种规格容器可分别充装45kg、300kg和1000kg产品，还可根据用户需求提供不同包装和接口。
产品指标：
| 气体名称 | SiCl4 |
| 成分或杂质名称 | 产品指标 |
| 纯度 | ≥99.9999% |
| 电阻率 | ≥500 ohm.cm |
| 其他氯硅烷 | <1ppm/w |
| 碳 | <0.2ppb/w |
| 施主杂质（砷As、磷P） | ≤0.08ppb/w |
| 硼(B) | ≤0.1ppb/w |
| 铁(Fe) | <2ppb/w |
| 镍(Ni) | ≤2ppb/w |
| 铬(Cr) | ≤1ppb/w |
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