洁净间被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业,例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、医院等行业等,其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内,才不会对制程产生影响。
技术参数
十万级10-15次/小时;
万级15-25次/小时;
千级50-52次/小时;
百级操作台断面风速0.25-0.35m/s;
压差:不同等级的洁净室之间的压差不应小于5Pa,洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa,洁净区与室外之间的压差不应小于10Pa;
温度:对生产工艺有温湿度要求的洁净室:按生产工艺要求确定。
对生产工艺无温湿度要求的洁净室:夏季24~26℃;冬季20~22℃。
人员净化及生活用室:夏季26~30℃;冬季16~20℃。



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