VPSA制氧主要设备包括：罗茨鼓风机、湿式罗茨真空泵、吸附器、氧气缓冲罐、切换阀门、仪表控制系统、电气控制系统、仪表空气系统等九部分组成。

原料空气经过滤器去除机械杂质后，经罗茨鼓风机加压后进入空气冷却器中冷却到30~40°C，从吸附器下部进入。为了降低噪音，罗茨鼓风机进出口都装有消音器。

吸附器内部装有两种吸附剂。床层底层装13X分子筛，用于吸附空气中水分、二氧化碳和碳氢化合物等杂质成分。床层中层装L分子筛，用于空气中氧气和氮气的分离。

空气进入吸附器后，经过13×分子筛床层后，空气中水分、二氧化碳等杂质被分子筛吸附。清洁的空气进入L分子饰床层时，空气中领气被吸附。大量末被吸附的氧气和少量领气随气流从吸附器的出口端流出 ，即产品气。当产品氧气纯度开始下降，说明Li分子筛氮气吸附量达到饱和。此时，停止向吸附器供空气。随后吸附器降压，气流从吸附器下部流出。随着床层压力降低，Li分子筛吸附的氮气被解吸，解吸气由罗茨真空泵抽出，并排入大气。当吸附器达到一定得真空度，分子筛恢复吸附能力。

为了连续获得氧气产品，必须再有至少一个吸附器;同一时间一个吸附器吸附产氧，另外的吸附器充压或真空解吸再生，交替使用。吸附器间的工况转换是由气动切换阀来实现的。根据设定的时间程序，PLC输出电讯号，控制电磁阀动作，电磁阀与仪表空气源连接，电磁阀动作后，仪表空气进入气动切换阀气缸，使气动切换阀开或者关闭。

吸附器上部流出的产品气*入氧气缓冲罐，然后进入氧压机吸气口。氧气缓冲罐起平衡产品气压力的作用。