逆流式罗茨真空泵气体循环冷却罗茨真空泵主要由转子、泵体、冷却器等组成，由于其特殊的结构设计，使其可以在高压差和高压缩比下长期可靠运行。冷却气体从泵体的两侧进入泵的吸气腔，使泵不会因压缩气体而出现过热，但对泵的抽气性能没有*影响。转子在泵腔内旋转120度并完成一次吸、排气的过程。冷却器和电机是每台泵的附件，冷却器和电机的规格是根据不同的工况而定。泵可以单独使用也可以多台串联使用，或与液环真空泵和普通罗茨真空泵串联成机组，达到更高真空度来满足各类工艺要求。

其中有三种冷却方式进行：空气冷却、内部冷却和油膜冷却

1、空气冷却

逆冷式罗茨真空泵由于输送和压缩气体而产生热量，这些热量须从转子传*壳体而散发。但在低压下，气体对热的传导和对流性能很差，致使转子吸收的热量不易散出，造成转子温度高于壳体的温度。由于转子的热膨胀，使转子与转子间、转子与泵壳间的间隙减少，特别在压差也高的情况下，尤为严重，甚*造成转子卡死，使耐腐蚀罗茨泵损坏。

为了逆冷式罗茨真空泵在较高的压差下工作，以扩大使用范围，增加罗茨真空泵的可靠性，就需设法散出转子产生的热量，即对转子进行冷却。

2、转子的内部冷却：

为了使逆冷式罗茨真空泵在更高压差下工作，可采取更有效的方法，即将转子用循环油冷 却，在泵轴两端分别有油孔、油径轴头打入，经转子内壁再从另一端排出。冷却油除冷却转子外，还润滑齿轮和轴承。这种方法*较好，逆冷式罗茨真空泵在运转时转子温度低于外壳温度，大泵常采用这种方式。

3、转子的油膜冷却：

这种冷却方法是在耐腐蚀罗茨泵入口处连接一个输油管，用均匀滴下的冷却油带走转子的热量。这方法不仅能将逆冷式罗茨真空泵转子上的热量带走，同时在两个转子表面上形成油膜，而且还能将转子表面上依附的微细尘埃带走。在逆冷式罗茨真空泵的出口处设有油槽，收集废油，过滤冷 却后重新循环使用。

目前各种真空泵的发展越来越受到真空应用场合的影响，一般传统的真空泵系统已经无法满足清洁无油、耐腐蚀、抽可凝性蒸汽以及能在恶劣的工况下运行的需要。因此，近几年来，干式真空泵发展是化工业药企的真空设备更新换代的品。节能低耗干式真空泵，泵内不仅不存在润滑油，而且亦不存在废液处理的问题。但是泵腔内没有油，就使得泵腔内部的间隙无法保持密封，而且还失去了用于控制温度的传热介质，这对干式罗茨真空泵带来很大的挑战。因此，逆冷式罗茨真空泵诞生是化工业、药企研究、制造、应用单位的共同希望。

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