产品优势：
1. 堆叠式高产能架构，占地面积小
2. 可与光刻机联机，满足工厂自动化需求
3. 配备多段回吸的多腔体共用供胶系统，有效节省光刻胶的用量
4. 选配高精度热板、WEE、AOI等单元部件，满足更高标准工艺需求
5. 核心单元模块化设计，组合方式灵活多变，限度客制化
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