净化材料:金属、吸气剂、其它
● 不同条件下,可去除可惰性气体和特殊气体中1PPB以下的水分、氧气、氢化物等杂质。
● 内置的初步过滤用的滤材全部标准使用SUS316L,不会引起腐蚀产生生颗粒等化学反应。
● HBr、HCl等强腐蚀性特殊气体中所含水分,100PPB(分析装置的检测界限)以下可以去除。
● 小型、轻量的GP-05型和过滤器同样大小(长度84mm),仅重120g。
● 根据不同气体类型,350℃-400℃的加热再激活处理可在使用寿命期限内多次重复使用。
规格:
张家港普瑞伦半导体设备有限公司
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● 不同条件下,可去除可惰性气体和特殊气体中1PPB以下的水分、氧气、氢化物等杂质。● 内置的初步过滤用的滤材全部标准使用SUS316L,不会引起腐蚀产生生颗粒等化学反应。● HBr、HCl等强腐蚀性特殊气体中所含水分,100PPB(分析装置的检测界限)以下可以去除。● 小型、轻量的GP-05型和过滤器同样大小(长度84mm),仅重120g。● 根据不同气体类型,350℃-400℃的加热再激活处理可在使用寿命期限内多次重复使用。
净化材料:金属、吸气剂、其它
● 不同条件下,可去除可惰性气体和特殊气体中1PPB以下的水分、氧气、氢化物等杂质。
● 内置的初步过滤用的滤材全部标准使用SUS316L,不会引起腐蚀产生生颗粒等化学反应。
● HBr、HCl等强腐蚀性特殊气体中所含水分,100PPB(分析装置的检测界限)以下可以去除。
● 小型、轻量的GP-05型和过滤器同样大小(长度84mm),仅重120g。
● 根据不同气体类型,350℃-400℃的加热再激活处理可在使用寿命期限内多次重复使用。
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