1. 设备用途：

采用电弧等离子体加热原理熔炼制备各种金属材料，是新材料研发与小规模生产的关键设备。

2. 设备技术指标：

2.1极限真空：6.67x10-4Pa。

2.2系统漏率小于5.0x10-8Pa.l/S。

2.3系统从大气开始抽气，20分钟可达到5x10-3 Pa；

2.4停泵12小时后真空度≤6Pa

2.5系统主要由电弧熔炼真空室、电弧枪、电弧熔炼电源、五工位水冷铜坩埚、翻转机械手、真空吸铸装置、磁力搅拌、工作气路、系统抽气、真空测量及电气控制系统、安装机台等各部分组成。

3. 组成

3.1立式圆筒型真空室尺寸：φ190mmX340mm，前开门结构,全不锈钢结构

3.2水冷电弧枪：（引弧方式为非接触），电弧枪采用电动升降，并配有双手柄快捷操作面板。

3.3水冷铜坩埚组件：电弧熔炼阳极有7个工位，熔炼合金工位（带磁搅拌25mm）；

3.4翻转机械手；

3.6真空吸铸装置：包括吸铸室和模具接口；

3.7吸铸模具：1套;

3.8工作气体气路：2条；

3.9φ80弧光防护装置；

3.10  IGBT焊接电源：250A，

3.11  采用分子泵+机械泵（+手动挡板阀

3.12  真空测量采用：ZDF5227真空计

3.13  设备整体尺寸小于：630×540×1800mm（长宽高）

使用单位：

广西大学

桂林电子科技大学