污染物含量:
SO2 :<0.025ppb
NO :<0.025ppb
NO2:<0.025ppb
O3:<0.3ppb
CO:<10ppb
HC:<0.25ppb
流量输出:10 SLPM@30psi
露点:<-20℃
干燥装置:三级干燥除水输出
尺寸:475mm×390mm×220mm
重量:<20kg
电源/功率:220V~240V,50~60Hz,3A,400W
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