主要特色:
- 可整合到任何硅片分选机上
- 可调整式的演算法可供检测5"、6"以及单晶、多晶、准单晶等各种硅片
- 多样化介面选择可与不同设备或者MES系统连线
- 遵守EN 50513 2009来进行硅片线锯痕检测
- 可整合到任何硅片分选机上
- 可调整式的演算法可供检测5"、6"以及单晶、多晶、准单晶等各种硅片
- 多样化介面选择可与不同设备或者MES系统连线
- 遵守EN 50513 2009来进行硅片线锯痕检测
线锯痕检测示意
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