杂交真空泵，抗腐蚀、高真空：
杂交泵是旋片泵与抗化学腐蚀隔膜泵的组合体。它通过抗化学腐蚀的隔膜泵吸出滞留在旋片泵内的气体，使腐蚀性气体在旋片泵内的时间和数量大幅减少，进而大幅提高旋片泵的使用寿命，同时保留旋片泵制造的高真空.
杂交真空泵技术参数：
型号：Chemvac P12Z-301(12D-101)
电压：220V 50/60Hz
最终压力：<2×10-3 mbar
抽吸速度：11.0m3/h, 183.0 l/min
外形尺寸（长/宽/高）：230mm/480mm/380mm
重量：40.5 kg
编号：109031
其他型号杂交真空泵参数说明：
| 型号 | 真空度mbar | 流速L/min (m3/h) | 外形尺寸(W/D/H) | 重量 | 电压 | 编号 |
| P6Z-101 | < 2×10-3 | 96 (5.8) | 500/330/340 mm | 25.5 | 220V 50/60Hz | 109030 |
| P12Z-301 | < 2×10-3 | 183 (11.0) | 230/480/380 mm | 40.5 | 220V 50/60Hz | 109031 |
| P23Z-301 | < 2×10-3 | 350 (21.0) | 590/345/420 mm | 46.0 | 220V 50/60Hz | 109032 |
杂交真空泵 主要特点：
• 抗化学腐蚀能力强，适用于抽化学活性强的气体和蒸汽
• 耐蒸汽能力强，适用于在抽排过程中会产生大量蒸汽的场合
• 配有减压阀，确保杂交泵的使用安全
• 配有油腔气泡装置，增大油的表面积，更快地释放出油内的残留物质
• 配有液气分离瓶，截留冷凝的液体
• 旋片泵的极限真空能力不受影响，并大幅延长其使用寿命和维护间隔
• 只用一个开关可同时开启和关闭杂交泵
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