配合检漏罐和氦质谱检漏仪,可以满足GJB548B-2005《微电子器件试验方法和程序》对电子器件/半导体器件等全密封件的背压法泄漏检测。
参数
内径:100mm-350mm
深度:130mm-580mm
厚度:3mm-8mm
耐压:6bar
内容积:1L-60L
充气接口:Φ6
材料:304不锈钢
配安全阀5KG,压力表
常用标准压氦罐
1L,5L,8L,10L
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