STK-6120 半自动晶圆减薄前贴膜机特点： |
桌上型 |
适用于8"&12"晶圆 |
操作简便 |
STK-6120 半自动晶圆减薄前贴膜机性能： |
晶圆收益 | ≥99.9% |
贴膜质量 | 没有气泡（不包括灰尘颗粒气泡） |
每小时产能 | 30~70片晶圆 |
更换产品时间 | ≤5分钟 |
STK-6120 半自动晶圆减薄前贴膜机规格参数： |
晶圆尺寸 | 8"& 12"晶圆 |
常规产品厚度 | 200 ~750微米 |
Bump产品厚度 | 晶圆 200～400微米 凸块 50～200微米 |
晶圆翘曲 | ≤5mm |
晶圆种类 | 硅, 砷化镓或其它 单平边，V型缺口 |
胶膜种类 | 蓝膜或者UV膜 宽度：240~340毫米 长度：100米 厚度：0.05~0.2毫米 |
贴膜原理 | 防静电滚轮贴膜 |
滚轮温度 | 室温～80摄氏度 |
贴膜动作 | 自动拉膜和贴膜 |
晶圆台盘 | 二合一特氟隆防静电涂层接触式台盘，或硅胶台盘台盘温度：室温～100℃ |
装卸方式 | 晶圆手动放置与取出 |
防静电控制 | 防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子发生器 |
切割系统 | 的手动可调整环形切刀，适用于不同的晶圆外形， 刀头带独立加热机构，无任何飞边并省去修边 的手动直切刀，为省膜的设计；切割刀温度：达150℃ |
晶圆定位 | 通用标线/弹簧销钉 |
控制单元 | 基于PLC 控制，并带5.7"触摸屏 |
安全防护 | 配置紧急停机按钮 |
电源电压 | 相交流电220V,10A |
压缩空气 | 5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟2.5立方英尺 |
机器外壳 | 白色喷塑金属外壳 |
体积 | 670毫米(宽)*1180毫米(深)*550毫米(高) |
净重 | 85公斤 |
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