| 设备名称 | 小型滑动PECVD管式炉系统—OTF-1200X-50S-PE-SL （2019.12.23—科晶实验室审核） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品提示 | 1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品特点 | ▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度； ▪ 可通过炉体滑动达到快速升温和降温； ▪ 可通过射频电源的频率来控制薄膜的应力； ▪ 可通过工艺调节来控制化学计量； ▪ 可沉积各种材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 加热炉参数 | ▪ 温度：1100℃（<30min）；连续工作温度：1000℃；> ▪ PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃； ▪ 输入电源：208- 240V AC，功率：1.2KW； ▪ 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命（点击文字了解涂层的详细参数）。
更多参数请联系科晶销售部 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 射频电源 | ▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。
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| 真空系统 | ▪ 采用TRP-12的双旋真空泵； ▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵； ▪ 真空度可达10-2Torr。
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| 供气系统（可选） | ▪ 客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）； ▪ 流量范围:
▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz； ▪ 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管； ▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出； ▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
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| 产品尺寸和重量 | ▪ 尺寸：1500mm L´600mm W´1200mm H ▪ 净重：160 kg ▪ 运输重量：220 kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 认证 | ▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
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| 承诺 | ▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件） |
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