OSMS西格玛光机XYZ三轴自动滑台位移台是一款适用于高刚性·高精度的测量装置或检查装置用步进电机型自动平台，轨道断面为U字形，自重轻，刚性好。

OSMS西格玛光机XYZ三轴自动滑台位移台是由西格玛光机XY轴和Z轴直接组装完成的组合位移台，XY轴又是由两个X轴组装完成，即一个XYZ三轴的位移台，只需2个X轴和1个Z轴即可完成组装。

目前在售的标准型号有6款，分别为OSMS20-35(XYZ)、OSMS20-35(XYZ)-M6、OSMS20-35(XYZ)-INCH、OSMS20-85(XYZ)、OSMS20-85(XYZ)-M6、OSMS20-85(XYZ)-INCH，前三款的行程为35mm、后三款的行程为85mm，平台面尺寸均为85*85mm，采用直径φ6mm、导程1mm的滚珠丝杠，U型外导轨。

OSMS西格玛光机XYZ三轴自动滑台位移台分辨率(整步)2μm/脉冲，分辨率(半步)1μm/脉冲，定位精度10μm<35mm行程>、20μm<85mm行程>，XY轴垂直度5μm，Z轴垂直度25μm<35mm行程>、30μm<85mm行程>。更多详细资料>>>芬创商城