OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑动开启式PECVD系统。此套设备配有等离子射频电源，直径为50mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）及机械泵组成。该设备模型可更新为不同类型的PECVD 系统，且设备性价比较为理想。
| 性能指标和基本配置 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 设备名称 | 小型滑动PECVD管式炉系统—OTF-1200X-50S-PE-SL （2019.12.23—科晶实验室审核） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品特点 | ● 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度； ● 可通过炉体滑动达到快速升温和降温； ● 可通过射频电源的频率来控制薄膜的应力； ● 可通过工艺调节来控制化学计量； ● 可沉积各种材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 加热炉参数 | ● 温度：1100℃（<30min）；连续工作温度：1000℃； ● PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃； ● 输入电源：208- 240V AC，功率：1.2KW； ● 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命  更多参数请联系科晶销售部 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 射频电源 | ● 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。
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| 真空系统 | ● 采用TRP-12的双旋真空泵； ● KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵； ● 真空度可达10-2Torr。  | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 供气系统 | ● 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）； ● 流量范围:
● 电压：208-240V， AC， 50/60Hz； ● 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管； ● 不锈钢针阀用于手动控制气体进出； ● PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。   | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品尺寸和重量 | ● 尺寸：1500mm L´600mm W´1200mm H ● 净重：160 kg ● 运输重量：220 kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 认证 | ● CE认证 ● 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证 ● 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证  | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 承诺 | ● 一年质保期，终身维护 ● 特别提示：（1）耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内； （2）因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
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