GSL-2Z-LCD-S是一款小型的两通道质子流量计混气系统，PLC触摸屏控制各通道气路流量，并可实时查看流量数据及曲线，可与本公司各种管式炉、CVD、PECVD、镀膜仪等设备配套使用，实现PVD、CVD、PECVD以及热处理等实验气氛的精确控制。
| 性能指标和基本配置 | |
|---|---|
| 基本参数 | ● 工作温度：5~45ºC ● 压力:0.3MPa ● 精度: ±1.5% FS ● 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围: ● 一路：1-99 SCCM ● 二路：1-199 SCCM （其他流量范围可定制） ● 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用 |
| 输入电源 | AC 220V，50/60Hz |
| 功率 | 100W |
| PLC触摸屏 | 各通道的气路设定和查看都集中在一触摸屏上 |
| 混气罐 | 内置一个不锈钢混气罐，可以良好的混气 |
| 机械压力表 | ● 有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接 |
| 针阀 | 316 不锈钢 |
| 通气管道 | ● 内部连接管道为1/4"不锈钢管 |
| 混气罐 | 内置一个不锈钢混气罐，可以良好的混气 |
| 机械压力表 | ● 有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接 |
| 针阀 | 316 不锈钢 |
| 通气管道 | ● 内部连接管道为1/4"不锈钢管 |
| 外形尺寸 | 360 mm L x 300 D mm x 190 H mm |
| 产品重量 | 8.4kg |
| 相关产品 | CVD & PECVD 管式炉 （点击图片查看详细资料） |
| 质量认证 | CE认证 |
| 保修期 | 一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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