常见问题

• 传统测量显微镜使用的模拟音量调节不能实现光强度的定量评估，这可能导致光强度变化时测量值的变化。
  
• 对于传统的测量显微镜，每次切换物镜时都可能需要调整光强度，以实现低效的工作流程。

STM7解决方案

通过光强度值的定量数字显示关闭控制

STM7系列提供光强度的定量数字显示，可在一致的照明条件下进行观察。

光强度管理器无需手动调节

光强度管理器可与编码旋转物镜转换器配置一起使用。编码旋转物镜转换器可自动检测物镜的切换。这允许为每个物镜记录照明方法和光强度，并且在切换物镜时的测量期间自动调节。现在无需手动调节光强度，这在放大倍率之间的每次切换时都需要。

5xIntensity 50

20xIntensity 70

100xIntensity 120

常见问题

• 在视觉测量期间，高度测量的结果可以在不同的操作员之间变化。
  
• 手动高度测量要求操作员重复移动平台并用手柄调节焦距，使测量耗时且效率低。
  
• 专注于诸如键合线之类的微小物体是困难的。

STM7解决方案

专用自动对焦单元：出色的再现性和聚焦速度

无论操作员的经验水平如何，STM7专用自动对焦装置均可在*短的时间内完成高精度的高度测量。使用反射有源共焦方法可提供与表面粗糙度或倾斜样品表面无关的稳定焦点，而小激光直径可实现自动对焦，即使在诸如键合线等微小物体上也是如此。

常见问题

• 短测量行程排除了较大样本的测量。
  
• 在测量期间补偿比X轴覆盖更短的Y所需的样本旋转是时间效率低的。到目前为止，大型平台在X轴上提供了足够的测量覆盖率，但在Y轴上的覆盖范围较小。
  
• 由于测量范围窄，不可能在舞台上排列大量样品进行测量。

STM7解决方案

• 提供四种类型的平台，每种平台具有的方形测量行程（可选择50 mm x 50 mm，100 mm x 100 mm，200 mm x 200 mm和300 mm x 300 mm）。从小尺寸样品到大尺寸样品，有一个适合被测样品的阶段。
  
• 离合器系统可实现粗调和精调之间的快速切换。由于这种切换功能，平台也可以沿X轴和Y轴快速移动，并在XY平面上自由移动。
  
• 300 mm方形长度的工作台可以将相同的测量行程应用于X和Y轴，这意味着它可以用于测量大样本，例如300 mm晶圆和印刷电路板，而无需改变其方向。
  

Common Problems

• Most conventional measuring microscopes only accept a measuring objective or metallurgical objective, and so are unable to meet the requirements for a wide variety of observations.

STM7 Solutions

• The STM7 accepts both a metallurgical objective and a measuring objective by exchanging a revolving nosepiece with a measuring objective adapter. This means that the STM7 combines both metallurgical optics and measuring optics in one microscope. In this way, the STM7 series satisfi es a range of needs, no matter whether measuring a wide area or tiny region, measuring the size of differences betwe en levels, or assisting the user in deciding on the best observation method to choose.