1974年台以电咸耦合等离子体（ICP）作为激发光源的ICP发射光谱仪问世。1983年ICP质谱仪开始推出，并很快确立了基市场地位。ICP质谱具有的灵敏感度、极少的干忧，使分析结果更为精确，由于ICP质谱的检出限极低所以，所以仪器需要在洁净室中动行，以免受环境污染的影响。

SPECTRO推出SPECTRO MS型ICP质谱仪是现代科学技术的重大突破，是全新性能与优势的展现，SPECTRO MS 是目前市场上的从6Li到238U质量范围全谱同时测量的ICP质谱仪，它使IPC质谱仪的能力从时序扫描测量跨跃到全谱同时测量的新阶段，不仅提高了测量的精密度和准确度，同时也大大缩短了样品的测量时间。

这种的革命性技术的核心是双聚焦Mattauch-Herzog扇形场质谱技术，与全新的同时俘获全部离子检测器的组合。SPECTRO MS所采用的检器为“直接电荷检测器（DCD）"，具有4800个通道同，时俘获全部同位素。在同时检测模式下所，需检测的质不再像传统的ICP质谱仪那样顺序测量花费时间，而是瞬间同获取全部的质谱。每次测量的全质谱信息可保存，事后处理分析。

SPECTRO MS光谱仪每个组件都经过优化设计和具，有杰出的分析性能而且操作简单。其便函于维护的整体设计，采用了可靠耐用的真空系统和冷却系统，灵活的进样系统，耐盐分的接口，极为高效的离子透镜和非常简易的操作，SPECTRO MS具有许多的仗势。

MS是世界的ICP - MS同时记录测量从6Li到238U所有元素 - 结合优良的检测限和测量时间短精度。的分析性能，极磊地减少了测量时间可，方便地连接各种附件和自动装置，实现无人值守操作。SPECTRO MS满足大多数的分析应用要求可广泛地应用于院校与工业研究机构、地质、矿产与金属工业农业与食品、环境、石油、化学工业、核工业、医学、生物与制药、半导体等而下之领域。新应用技术，尤其是结合种分离技术的应用在不断发展，而SPECTROMS是承担这些任务的。