详情介绍：
OTSUKA大冢-嵌入式膜厚监视器
特长
分光干扰法的膜厚计
高精度FFT膜厚解析引擎（砖利第4303847号）
可以通过有机纤维构筑自由的测量系统
可以组装各种制造设备
可以进行实时的膜厚测量
对应远程操作和多点测量
采用长寿命、高稳定性的白色LED光源
测量项目
多层膜厚解析
用途：
光学胶卷（硬盘、AR胶片、ITO等）
FPD相关（注册、固态、SiO2等）
単一ポイントタイプ
- 半導体ウェハの面内分布測定
- ガラス基板の面内分布測定
多ポイントタイプ
- リアルタイム計測
- 流れ方向の品質管理
- 真空チャンパーにも対応
トラバースタイプ
- リアルタイム計測
- 幅方向の品質管理
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