概述
高密度等离子蚀刻装置,采用电感耦合等离子体(工业塑料广场)作为放电形式。 该设备具有负载锁室,具有出色的工艺可重复性和稳定性。
特点
新型ICP源「HSTC™: Hyper Symmetrical Tornado Coil」
高射频功率(2 kW 或更高)可高效、稳定地应用,以实现良好的均匀性。
大流量排气系统
通过采用与反应室直接相连的排气系统,实现了从小流量、低压区域到大流量、高压范围的各种工艺窗口。
下部电极升降机构
优化晶圆和等离子体之间的距离,确保良好的平面内均匀性。
易于维护的设计
TMP(涡轮分子泵)易于单元化和更换。
应用示例
• 高精度加工化合物半导体,如 GaN、GaAs 和 InP
・高速加工SiC、SiO
• 蚀刻难蚀刻材料,如铁电体(PZT、BST、SBT、BT)和电极材料(Pt、Au、Ru、Al)
化合物半导体晶圆的等离子切割,薄型化
选项
难蚀刻材料用特殊电极机构
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