【1台即可去除2种污染物】
采用活性碳滤芯，1台即可去除硅氧烷和臭氧。
【可对应高压、大流量】
压缩空气、氮气在保持加压状态下，可以大流量使用。
【高去除率】
99%以上的硅氧烷吸附性能、臭氧分解性能。
【省空间】
可连接本公司的调质元件及模块，实现省配线。
| 型号 | 名称 | 连接工序 | 环境温度、流体温度 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| SFX40-8 | 硅氧烷、臭氧去除器 | Rc1/4 | 5～50℃ | |
| SFX40-10 | 硅氧烷、臭氧去除器 | Rc3/8 | 5～50℃ | |
| SFX40-15 | 硅氧烷、臭氧去除器 | Rc1/2 | 5～50℃ |
喜开理（中国）有限公司
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专用于硅氧烷吸附及臭氧分解的去除器。99%以上的高去除率使得压缩空气、氮气在保持加压状态下，可以大流量使用。行业半导体制造工序（后工序）安装
【1台即可去除2种污染物】
采用活性碳滤芯，1台即可去除硅氧烷和臭氧。
【可对应高压、大流量】
压缩空气、氮气在保持加压状态下，可以大流量使用。
【高去除率】
99%以上的硅氧烷吸附性能、臭氧分解性能。
【省空间】
可连接本公司的调质元件及模块，实现省配线。
| 型号 | 名称 | 连接工序 | 环境温度、流体温度 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| SFX40-8 | 硅氧烷、臭氧去除器 | Rc1/4 | 5～50℃ | |
| SFX40-10 | 硅氧烷、臭氧去除器 | Rc3/8 | 5～50℃ | |
| SFX40-15 | 硅氧烷、臭氧去除器 | Rc1/2 | 5～50℃ |
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