【马达驱动，30点开度设定】
根据外部信号通过马达驱动调整开度。
最小间距0.15mm（NW25时）。
简易的导率可变系统及真空控制的自动化。
【开度监视功能、各种信号输出功能】
内置编码器，可监视当前开度。
具备阀开、阀闭状态的动作完成信号、报警输出功能，使用更放心。
| 型号 | 名称 | 配管方式 | 备注 |
|---|---|---|---|
| EVB※17 | 电动真空阀 | NW25, 40, 50 | 2021年03月31日 销售中止旧的目录 |
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【停产产品】代替产品：IAVB系列通过马达驱动调整阀的开度，实现了多种导率的电动真空阀。行业半导体制造工序（前工序）半导体制造工序（后工序）
【马达驱动，30点开度设定】
根据外部信号通过马达驱动调整开度。
最小间距0.15mm（NW25时）。
简易的导率可变系统及真空控制的自动化。
【开度监视功能、各种信号输出功能】
内置编码器，可监视当前开度。
具备阀开、阀闭状态的动作完成信号、报警输出功能，使用更放心。
| 型号 | 名称 | 配管方式 | 备注 |
|---|---|---|---|
| EVB※17 | 电动真空阀 | NW25, 40, 50 | 2021年03月31日 销售中止旧的目录 |
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