扫描电子显微镜SEM专用主动隔振台

KNS ArisMD主动隔振台

简介：专为扫描电子显微镜设计的主动隔振台，由多个ArisMD主动隔振模块构成，独立模块，分布式控制。

用途：用于消除或降低地表附近震动源产生的震动，从而消除或减少由于地表震动(包括附近建筑和设备所产生的震动)传导入SEM扫描电子显微镜而引起的震动干扰，保证扫描电子显微镜SEM的运行环境和工作状态。

技术规格：

主动隔振频率：0.5～100Hz

主动隔振自由度： 6个自由度

震动响应时间：<=0.1Sec

隔振性能：8dB gain on 1Hz （60%～70% @ 1Hz）； 20dB gain on 2Hz（>=90% @ 2Hz）

主动隔振模块尺寸：230mmX270mmX75mm

承载重量：由主动隔振模块数量决定

主要优势：

高性能，低成本

结构紧凑，安装简易，可直接集成到扫描电镜底部框架

安装成本低，安装时间短（3～5h），安装后无需再调校扫描电子显微镜

的实时性能检查工具、实时性能调整工具

的远程服务工具