- ULVAC NB罗茨泵系列NB100A
- 特长和用途
- 技术参数表
- 抽气速率曲线
- 尺寸图
罗茨泵与油旋片真空泵、水环泵组合用，可在压力1.3×103~1.3×10-1Pa范围内提高抽气速率。NB系列罗茨泵是专为洁净度要求较高的场合而设计的。
特长
结净的真空
腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运转
选用比标准电机容量大上等的电机，即可实现在高吸入压强下的运转。
用途
照明、电子、光学、半导体
镀膜、溅射、离子镀、液晶注入
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉
分析仪器、检漏设备，CO2激光设备
机 型 | NB100A | NB300A | NB600A | NB1200A | ||
项 目 | ||||||
抽气速率*3 m3/h（L/min） | 50Hz | 95(1580) | 280(4670) | 500(8330) | 1000(16667) | |
60Hz | 115(1920) | 330(5500) | 600(10000) | 1200(20000) | ||
*大吸入压力 Pa (连续运转时) | 50Hz | 1.3×103 | 1.2×103 | 1.3×103 | ||
60Hz | 1.3×103 | 9.3×102 | 1.1×103 | |||
*大允许压力差 Pa (排出压力-吸入压力) | 50Hz | 8.0×103 | 4.0×103 | 7.3×103 | ||
60Hz | 6.7×103 | 3.3×103 | 6.0×103 | |||
极限压力 Pa*1 | 4.0×10‐1 | 6.7×10‐1 | ||||
标准粗抽泵 | GLD-N280 VDN301 | VDN401 | VSN1501 VSN2401 | VSN1501 VSN2401 | ||
电 机 | kW (极) *2 *4 | 0.4（2） | 0.75（2） | 2.2（2） | 3.7(2) | |
V-Hz | 380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz | |||||
使 用 油 | ULVOIL® R-4 | |||||
所需油量 L | 0.35 | 0.70 | 1.50 | 1.90 | ||
冷却水量 L/min*6 | 空 冷 | 2 *5 | 2 | 3 | ||
进水压力 MPa | － | 0.3 | ||||
进出水压差 MPa | － | 0.05 | 0.1 | |||
重 量 kg | 24 | 49 | 77.5 | 110 | ||
吸气口径 (JIS B 2290) | 相当 VG50 | 相当 VG80 | 相当VG80 | 相当VG100 | ||
排气口径 (JIS B 2290) | 相当VF50 | 相当VF80 | 相当VF80 | 相当VF80 | ||
*1 用皮拉尼真空计测量的值，如用麦氏真空计测量，则为4.0×10-2Pa（3.0×10-4Torr），而NB1200A则为6.7×10-2Pa（5.0×10-4Torr）。
*2 电源为AC380V、50Hz、三相。
*3 随粗抽泵的性能而变化，表中为标准泵的组合的数据。
*4 NB300A、NB600A、NB1200A可分别选购1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量电机。
*5 对于530Pa（4Torr）以下可用空冷，但530Pa(4Torr)以上进行连续运转必须用水冷。
*6 冷却水温为5～30℃。
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