- 大功率的600W单色化Al Kα X射线源，确保高的分析灵敏度
- 平均半径165mm的双层能量分析器，确保高能量分辨XPS分析和高空间分辨的XPS成像
- 的浸入式磁透镜技术，大幅度提高分析灵敏度
- 的快速平行X光电子实时成像，空间分辨率优于3μm，像素65,536（256×256），可进行微区元素和化学态空间分布分析
- 的同轴超低能无阴影单电子源荷电中和器，解决绝缘体XPS分析
- 的二维阵列延迟线检测器（Delay-Line Detector），同时记录光电子的强度和发射位置，可实现在数秒钟之内获得高能量分辨XPS谱
- 全自动大样品台，可实现100mm×100mm的大样品分析
- 能量分辨率优于 0.45eV（Ag 3d5/2）
- 常规分析能量分辨和灵敏度高达0.55eV@1.1Mcps（Ag 3d5/2）
- 绝缘体分析的分析能量分辨和灵敏度高达0.68eV@16kcps（PET的C 1s）
- 选配单色化Al/Ag双阳极X射线源，实现高能XPS分析
- 结合了数据采集和数据处理的Vision软件，可运行于Windows XP/Vista/7等多种平台下，实现各真空室真空度实时显示，操控真空阀门开关，实验条件设定和全自动无人值守分析等强大功能
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