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更新时间：2023-11-09 21:31:58
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OAI是业内生产可靠并精密设备的MEMS，半导体，纳米技术，洁净室自动化和紫外线光测量的制造商。 OAI系统可同时用于研发和生产半导体，MEMS和微流体装置。从光罩对准和UV光源UV电力仪表，OAI是在同行业中的者超过40年。

　

OAI Series 6000 生产型曝光机

　

全面的曝光系统

● 0.5μ 精确正面对准
● 1μ 正反面对准
● 高产量：170 WPH in 1st Mask Mode
● 均匀性优于±3%
● 适用于各种规格的晶片
● 自动平衡补偿
● 适用于工艺的重复性要求
● 亚微米分辨率

　

OAI在MEMS和微流体装置方面的产品主要包括 :

　

　

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