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光刻胶/显影液/剥离液

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光刻胶又称光致抗蚀剂,是一种对光敏感的混合液体。其组成部分包括:光引发剂(包括光增感剂、光致产酸剂)、光刻胶树脂、单体、溶剂和其他助剂。在紫外光等光照或辐射下,溶解度会发生变化的薄膜材料。AZ4562正性厚光刻胶,具有粘附力,在普通湿法蚀刻和电镀工艺中具有粘附力,广泛应用于半导体行业。AZ5214这种特殊的光刻胶用于需要负壁轮廓的剥离技术(lift-of工艺)。由酚醛清漆树脂和萘醌二叠氮化物作为光敏化合物(PAC)组成的正性光致抗蚀剂,它们也可反转成负胶,从而产生的掩模。SU-82000系列环氧型树脂的负性光刻胶,SU-82000化学放大,i线抗蚀剂非常适合制造性器件结构。这些负色调,环氧基抗蚀剂表现出优异的耐化学性和低的杨氏模量,使其成为制造微/纳米结构的理想选择,如悬臂,膜和微通道。SU-83000系列已被配制用于改进的粘合性和降低的涂层应力。它被用于需要高结合强度和改进的微结构制造柔性的地方,用于微流控/MEMS微纳工艺,大大提高了与基板的粘合性。mr-NIL210有机可光固化的NIL抗蚀剂,具有出色的干法刻蚀特性。它具有出色的固化和纳米压印性能,特别适用于使用软印模材料(例如PDMS)的软NIL。mr-I......

详情介绍

光刻胶又称光致抗蚀剂,是一种对光敏感的混合液体。其组成部分包括:光引发剂(包括光增感剂、光致产酸剂)、光刻胶树脂、单体、溶剂和其他助剂。在紫外光等光照或辐射下,溶解度会发生变化的薄膜材料。


AZ 4562

正性厚光刻胶,具有粘附力,在普通湿法蚀刻和电镀工艺中具有粘附力,广泛应用于半导体行业。


AZ 5214

这种特殊的光刻胶用于需要负壁轮廓的剥离技术(lift-of工艺)。由酚醛清漆树脂和萘醌二叠氮化物作为光敏化合物(PAC)组成的正性光致抗蚀剂,它们也可反转成负胶,从而产生的掩模。


SU-8 2000系列

环氧型树脂的负性光刻胶,SU-8 2000化学放大,i线抗蚀剂非常适合制造性器件结构。这些负色调,环氧基抗蚀剂表现出优异的耐化学性和低的杨氏模量,使其成为制造微/纳米结构的理想选择,如悬臂,膜和微通道。


SU-8 3000系列

已被配制用于改进的粘合性和降低的涂层应力。它被用于需要高结合强度和改进的微结构制造柔性的地方,用于微流控/MEMS微纳工艺,大大提高了与基板的粘合性。


mr-NIL210

有机可光固化的NIL抗蚀剂,具有出色的干法刻蚀特性。它具有出色的固化和纳米压印性能,特别适用于使用软印模材料(例如PDMS)的软NIL。


mr-I T85

热塑性NIL抵抗剂,基于非极性环烯烃共聚物(TOPAS)的T-NIL抗蚀剂(Tg = 85°C)。


SU8胶配套显影液、去胶液、去边胶

SU-8 Dev、Remover PG去胶、EBR-PG 去边胶、ZX-238型正胶显影液


AZ胶配套显影液

AZ300MIF-薄AZ系列光刻胶的显影液     

AZ400K-厚AZ系列光刻胶的显影液       


电子束胶

PMMA/MMA950k 495k     50-5000nm    分辨率<10nm   粘附性好,适用于电子束光刻,多层T-Gate剥离、晶圆减薄;

ma-N 2400                         0.1um-1um    分辨率50 nm    电子束和深紫外灵敏;抗干刻、湿刻性能;胶图案良好的热稳定性;碱性水溶液下显影;


紫外光刻负胶-lift-off工艺

ROL-7133      2.2-4um      分辨率4um       制作金属电极或导线,倒角75-80度,粘附性好,可使用普通正胶显影液;

SUN-1300     7-18um       分辨率4um       对比度高、分辨率高、附着性佳、易于去除;

   




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