光刻胶的前烘与坚膜是微机械加工工艺中的两道工序.用于光刻胶烘干的热板对表面温度场分布的均匀性和温度控制稳定性均有较严格的要求.
根据您的实际应用选择一款适合的热板:
1、经济型: NDK热板
2、确定顶板材质:
铝合金(陶瓷保护层)---------NDK热板
阳极氧化铝-------------------EMS热板、 WENESCO热板
3、确定热板尺寸:
150*150mm-------------EMS热板
250*250mm-------------NDK热板
更大尺寸--------------WENESCO热板
4、确定温度:
250℃-------------EMS热板、NDK热板
更高------------------WENESCO热板
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