超精密加工：纳米级加工
纳米级加工的含义
纳米级加工的含意是达到纳米级精度，包含：纳米级尺寸精度，纳米级几何形状精度、纳米级表面质量。
纳米级加工的特点
1、欲得到l nm的加工精度，加工的最小单位必然在亚纳米级。由于原子间的距离为0.1-0.3nm，纳米级加工实际上已到加工精度的极限
2、纳米级加工中试件表面的一个个原于或分子将成为直接的加工对象，因此纳米级加工的物理实质就是要切断原子间的结合，实现原子或分子的去除。
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超精密加工：纳米级加工纳米级加工的含义纳米级加工的含意是达到纳米级精度，包含：纳米级尺寸精度，纳米级几何形状精度、纳米级表面质量
超精密加工：纳米级加工
纳米级加工的含义
纳米级加工的含意是达到纳米级精度，包含：纳米级尺寸精度，纳米级几何形状精度、纳米级表面质量。
纳米级加工的特点
1、欲得到l nm的加工精度，加工的最小单位必然在亚纳米级。由于原子间的距离为0.1-0.3nm，纳米级加工实际上已到加工精度的极限
2、纳米级加工中试件表面的一个个原于或分子将成为直接的加工对象，因此纳米级加工的物理实质就是要切断原子间的结合，实现原子或分子的去除。
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