KLA公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器， iNano高精度台式纳米压痕仪。对纳米压痕物理模型和线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解，以及高灵敏度的三片式电容传感器的设计，保证全系列纳米力学产品在整个量程范围内均能得到高精准、高分辨的控制。50mN载荷范围，3nN加载精度，0.002nm位移精度。
• 快速精准的动态纳米压痕测试
• 电磁加载方式
• 快速精准的位移测量
• 超高框架刚度
• 热漂移 <0.05nm/s
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KLA公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器， iNano高精度台式纳米压痕仪。对纳米压痕物理模型和线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解，以及高灵敏度的三片式电容传感器的设计，保证全系列纳米力学产品在整个量程范围内均能得到高精准、高分辨的控制。50mN载荷范围，3nN加载精度，0.002nm位移精度。
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