MPI TS2000是世界范围内成熟的探针系统的自然演变，其专用设计满足半导体测试市场的要求。该系统与所有MPI系统附件兼容，主要用于解决故障分析，设计验证，IC工程，晶圆级可靠性以及MEMS，高功率，RF和mmW器件测试的特殊要求。

产品描述

TS2000可用于环境温度和/或仅热温度操作模式，速度快达10 Dies /秒（取决于最终配置），这使其成为离散RF设备上预生产电气测试的理想选择，例如：

1. 适用于多种量产型晶圆量测应用

• 模块量测-DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
• 射频量测-至高 67 GHz
• 高功率量产测试-至高 10 kV / 600 A
• 集成电路设计验证-室温至 300 °C

2. 量产可靠性

专为24/7 稳定可靠的量产测试而设计

内建被动式防震桌

可另选配避震基座

适用于室温至300 °C量测

3. 工效学设计及弹性选配

简易便利的前门单晶圆上片设计

大面积工作台设计，可乘载至多12x DC或4x DC+4x RF 微定位器、或4.5"标准探针卡夹具

另有多种晶圆载物台、4.5“探针卡夹具可做选择，亦有诸多配件如 DC/RF 微定位器、光学显微镜等可搭载，以支援您的应用需求

特点与优势

1. 广泛使用大探针压板

TS2000系列提供大型，易于接近的探头压板，可容纳多达12x DC或4x RF MicroPositioners

负载牵引调谐器或更大面积的MicroPositioners 的集成使TS2000系统成为RF和mmW测量的理想选择

2. 易于晶圆装载

大型前门通道可轻松装载/卸载100，150，200mm晶圆，晶圆碎片或甚至小于5*5mm IC

AUX卡盘位于前面，可以方便地装载/卸载。没有推出阶段允许用于RF校准和探针卡清洁的简单自动化方法

3. 集成硬件控制面板

智能硬件控制面板集成到探头系统中,基于数十年的经验和客户交互设计,提供更快,更安全,更方便的系控制和测试操作

如有必要,键盘和鼠标的位置可以控制软件,还可以控制基于Windows的仪器。

用于晶圆和AUX卡盘的真空控制面板位于右前侧,便于在装载/卸载过程中进行操作。

4. 热卡盘集成

热卡盘 (从20℃ 或环境温度到300℃) 可以使用集成的触摸屏显示器进行操作, 放置在操作员面前的方便位置, 以便快速操作和立即反馈。

5. P探针卡和微型定位器-同时进行

许多单探头，用于4.5"×11" 探针卡的薄型探针卡固定器, 以及较低的板与卡盘距离, 是使用有源探头同时探测的理想选择, 使该系统成为设计验证和成故障分析工作的理想选择。

6. 集成 DarkBox

TS2000D就是已集成 Dark Box的TS2000!

该系统专为占地面积, 嵌入式互锁, LED照明和各种测量仪器的标准化接口面板而设计, 是光和激光安全保护测试环境的。

从后面板轻松访问, 可以快速, 方便地重新配置或初始设置

7. 仪器集成

可选的仪器架减少了电缆长度, 提高了F和mmW应用的测量动态和方向性

8. 隔振

T52000采用两种类型的隔振解决方案,可在不网的实验室测试环境中更好地运行。总占地面积与工业中常用的现有独立振动隔离表相当或更小

9. 软件套件 SENTIO

MPI自动化工程探针系统由且革命性的多点触控操作控制 SENTIO软件套件—简单直观的操作节省了大量的培训时间，Scroll、Zoom，Move命令模仿现代智能移动设备，让每个人能在几分钟内成为专家。

对于RF应用，无需切换到另一个软件平台-MPI RF校准软件程序QAlibria与 SENTIO集成-通过遵循单一操作概念方法易于使用