该双温区真空管式炉不仅可以抽真空，也可以通保护性气氛。开启式炉膛结构有利于炉管拆卸和观察物料装载，操作简单。透明石英管腔体可以直观的看到样品的烧结状态。本管式炉炉管水平穿过炉膛，加热元件呈四周均匀分布，温场均匀，炉管内部和炉膛之间的内外温差可控制在3度左右。炉体设计有缓冲上盖支撑结构让操作时可安全开启。
该款双温区真空管式炉的组合主要适用于需要控制反应湿度的CVD试验和反应。
双温区管式炉技术参数：
| 项目 | 明细 | |
| 双温区管式炉 | 供电电压 | AC110V;60Hz |
| 工作温度 | ≤1100℃ | |
| 加热速率 | 建议10℃/min | |
| 热电偶类型 | B型热电偶 | |
| 炉管尺寸 | φ80（OD）×φ74（ID）×1000（L）mm | |
| 炉管材料 | 高纯石英 | |
| 密封法兰 | 带有1/4英寸的气体接口和真空接口 | |
| 加热温区 | 200mm+200mm | |
| 温度控制 | 1） PID全自动控制加热速率，冷却速率以及保温时间 2） PID控制超温保护和短偶保护 3） 超温保护在报警功能使该设备可在无人看管的情况下运行 4） 温度精度在±1℃（即显示的温度和实际温度差） | |
| 加热元件 | 电炉丝 | |
| 蒸发器 | 容量 | 300mL |
| 加热套工作温度 | ≤250℃ | |
| 功能 | 有精密可编程温度控制器控制； 容器上有两个SS针阀和一个压力表 | |
| 湿度监测器 | 安装方式 | KF25适配器连接至加工管法兰 |
| 测量范围 | 0-99%RH，1.5%FS精度，或-60°~+60°DP | |
| 测量精度 | ±0.3° | |
| 使用方法 | 调节蒸发器水内温度和H2气体流量以达到所需湿度水平 | |
| 三路防腐浮子流量计 | 阀门类型 | 不锈钢针阀 |
| 管道正常情况 | 关闭 | |
| 气体方式 | 3通道 | |
| 连接尺寸 | 1/4" | |
| 压力范围 | -0.1~0.15Mpa | |
| 管芯材质 | 304不锈钢 | |
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